Técnicas E-Beam para test y controlabilidad de circuitos integrados
- Autores: Jordi Madrenas Boadas
- Lectura: En la Universitat Politècnica de Catalunya (UPC) ( España ) en 1992
- Idioma: español
- Tribunal Calificador de la Tesis: Joan Figueras Pamies (presid.), Jorge Francisco Suñe Tarruella (secret.), Joan Ramon Morante Lleonart (voc.), Bernard Courtois (voc.), Hiromu Fujioka (voc.)
- Materias:
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- Resumen
Tras una introduccion sobre la necesidad del test sin contacto, se repasan las avanzadas tecnicas del test mediante haz de electrones. Se presentan ejemplos originales de aplicacion. Se ha desarrollado un metodo eficaz de estimacion del contraste de voltaje en imagenes estroboscopicas con elevado nivel de ruido. Dicho metodo consiste en la obtencion de la estructura de terminales a medir mediante tecnicas de procesado de imagen y filtros diseñados al efecto. El contraste de voltaje obtenido por susbtraccion es promediado para cada terminal, obteniendose una mejor relacion señal-ruido. Se asigna un codigo de pseudocolor a cada valor de voltaje. Se realiza el estudio de unas celulas detectoras del haz electronico con aplicacion a la controlabilidad de circuitos integrados. El principio de deteccion se basa en la carga de un metal flotante, y se presentan 2 soluciones: deteccion de carga mediante amplificador diferencial con transistor mos de puerta flotante y deteccion de corriente mediante transistor bipolar implementado en tecnologia cmos. Se presenta el diseño, simulacion y resultados experimentales. Se discuten los resultados positivos de control obtenidos. Como resultado de la experimentacion se presentan las causas del error de posicion del haz primario. Se concluye que los terminales del encapsulado tienen una gran importancia en la generacion de dicha deflexion del haz. En un capitulo de conclusiones se resumen las aportaciones realizadas.
