Tecnología de emisores de polisilicio aplicada a la fabricación de células solares de silicio

• Autores: Santiago Silvestre Berges
• Directores de la Tesis: Luis Castañer Muñoz (dir. tes.)
• Lectura: En la Universitat Politècnica de Catalunya (UPC) ( España ) en 1996
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Lluís Prat Viñas (presid.), Ramon Alcubilla González (secret.), Emilio Lora Tamayo (voc.), Antonio Luque López (voc.), Tomas Markvart (voc.)
• Materias:
  • Ciencias tecnológicas
    • Tecnología electrónica
      • Dispositivos semiconductores
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• Resumen

  • Se han diseñado cuatro procesos de fabricacion con objeto de demostrar las ventajas que esta tecnologia de contacto de polisilicio puede aportar al campo del desarrollo de las celulas solares. En esta memoria se han presentado los resultados de las simulaciones de procesos realizadas, asi como una descripcion detallada de cada uno de ellos. Se muestran los resultados obtenidos en la caracterizacion electrica de los distintos tipos de dispositivos desarrollados, asi como las conclusiones obtenidas como resultado de dicha caracterizacion. Se ha realizado un analisis experimental sistematico de la influencia de los parametros tecnologicos en la resistencia serie de los dispositivos y del efecto del contacto de polisilicio sobre este parametro, concretamente se aportan por primera vez resultados experimentales del efecto de la implantacion de fluor en el contacto de polisilicio del emisor, que reduce en todos los casos la resistencia serie. Este conjunto de resultados indica que el uso de los contactos de polisilicio no penaliza significativamente la resistencia serie. La introduccion del bsf de polisilicio mejora notablemente el rendimiento de conversion, el valor de este parametro aumenta con el tiempo de difusion y es mas elevado en todos los casos en dispositivos con implantacion de fluor en el emisor.