Secondary ion mass specytometry characterization of surface and interfaces in nanolayered structures

• Autores: Helena Tellez Lozano
• Directores de la Tesis: José Javier Laserna Vázquez (dir. tes.), Jose Miguel Vadillo Perez (codir. tes.)
• Lectura: En la Universidad de Málaga ( España ) en 2010
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Cristina Nerín de la Puerta (presid.), Juan T. López Navarrete (secret.), Carmen Cecilia García Pérez (voc.), Jesus Alonso Reviejo (voc.), José Ignacio García Alonso (voc.)
• Materias:
  • Física
    • Física del estado sólido
      • Propiedades mecánicas
  • Química
    • Química analítica
      • Espectroscopia de masas
      • Análisis microquímico
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• Resumen

  • TÍTULO DE LA TESIS: Secondary ion mass spectrometry characterization of surface and interfaces in nanolayered structures RESUMEN: La caracterización de sólidos, superficies y películas delgadas ha representado un importante desafío en muchos campos y ha sido abordada por varias disciplinas como la Ciencia de los Materiales, la Física del Estado Sólido o la Química Analítica, entre otros. Así mismo, la mayoría de los desarrollos alcanzados en el ámbito de la nanotecnología han estado inevitablemente ligados a la disponibilidad de técnicas de caracterización que permitan un profundo conocimiento de la composición química, la morfología y la química interfacial de muestras multi-laminadas en la escala sub-micrométrica. En este contexto, la espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) se ha consolidado como una de las técnicas más poderosas debido a sus excepcionales capacidades en términos de sensibilidad, especificidad y resolución espacial, tanto lateral como en profundidad. Sin embargo, SIMS ha estado tradicionalmente circunscrita al campo de la física aplicada o la ciencia de los materiales, principalmente desde la perspectiva de la investigación académica. En esta tesis, el objetivo principal es el uso de SIMS como una herramienta eficaz para la resolución de problemas reales en el ámbito de la investigación académica aplicada y el campo industrial, proporcionando una perspectiva analítica de los procesos involucrados en la fabricación, el funcionamiento o la degradación de dispositivos nano-laminados.