Resumen de Establecimiento de una herramienta para el diseño de sensores de presion piezorresistivos. Aplicacion a la obtencion de prototipos
Los objetivos fundamentales de esta tesis doctoral se centran en dos aspectos. Por una parte, el desarrollo de una herramienta de diseño para microsensores de presion piezorresistivos de membrana cuadrada; y por otra, su aplicacion al diseño, fabricacion y caracterizacion de un microsensor para la medida invasiva de la presion arterial. La conjuncion de ambas tareas confiere un marcado caracter multidisciplinar al trabajo aqui presentado. En ese caso, ha sido necesario acudir a fundamentaciones procedentes de la teoria de la elasticidad y de la fisica de los semiconductores. Por otro lado ha sido necesario utilizar de modo coherente tecnicas tan dispares como las simulaciones mecanicas basadas en el metodo de los elementos finitos y las electricas mediante spice, al mismo tiempo que se han abarcado variadas tecnologias de fabricacion (oxidacion, dopado, deposito de peliculas delgadas, micromecanizado del silicio, fotolitografia) y de caracterizacion de dispositivos microelectronicos. Los resultados de la caracterizacion de los prototipos han permitido contrastar la validez de la herramienta desarrollada para el diseño de microsensores de presion. Asimismo, el sensor fabricado se ajusta a las especificaciones requeridas.
