Resumen de Medida de perfiles de concentración por medio de AES y bombardeo iónicosimultáneo, aplicación al estudio de la oxidación del tantalio
Se ha estudiado la aplicabilidad de la espectroscopia de electrones auger (a.E.S.) y bombardeo ionico simultaneo para la obtencion de perfiles de concentracion en peliculas delgadas. En particular se ha estudiado la influencia de los parametros experimentales en los efectos que distorsionan el perfil desarrollando un metodo matematico de deconvolucion que permite sustraer dichos efectos. Como aplicacion se ha estudiado por medio de ambas tecnicas la interaccion del oxigeno con el tantalio a exposiciones bajas ( 20l) e intermedias ( con un proceso de difusion y una reaccion con una cinetica de primer orden. Por ultimo se han caracterizado peliculass anodicas de ta2o5 crecidas sobre ta.
