Resumen de Caracterización de peliculas delgadas de SiC y ZrO2-Y2O3 producidas por magnetron sputtering y post-recocido con laser de CO2
F. Sequeda, Alfonso Devia Cubillos, G. Bolaños, Efraín Solarte, C. Goyes
En este trabajo se ha usado el Recocido Láser (RL) para modificar las características ópticas y morfológicas de películas delgadas cerámicas usadas en aplicaciones de ingeniería. Se usaron muestras de SiC y ZrO2-Y2O3 (ZrO2 con 8% por masa de Y2O3), las cuales fueron depositadas sobre substratos de cuarzo, silicio y zafiro, en un sistema Magnetron Sputtering (MS). Se eligieron blancos estequiométricos de SiC y ZrO2-Y2O3, para cada caso respectivo. En las muestras de SiC, se mantuvo un espesor nominal de 100nm. Para el recocido, se ha usado un Láser de CO2 de baja potencia, 1.2W y un tiempo de exposición de 10 min. Se presentan resultados de caracterización usando AFM, FTIR y XPS. Los resultados indican que la rugosidad, el tamaño de grano y las propiedades ópticas de las películas delgadas obtenidas por MS pueden ser modificadas con un tratamiento posterior de recocido láser a baja potencia, sin presentar cambios en su composición química y disminuyendo el tiempo de procesamiento de estos materiales en comparación con técnicas convencionales de recocido en hornos.
