Resumen de Peliculas de ti6al4v crecidas sobre aceros 316l mediante la tecnica de pulverizacion catodica magnetron rf y nitruradas por plasma
E. M. Cárdenas, J. E. Alfonso, C. A. Ortiz
En este trabajo se han crecido películas delgadas de Ti6Al4V mediante la técnica de pulverización catódica magnetrón rf, sobre acero 316L y se les ha sometido a un tratamiento posterior de nitruración por plasma, en función del tiempo, para establecer si existen cambios en las propiedades mecánicas por la incorporación del nitrógeno a la red cristalina de la película. Las condiciones utilizadas para crecer las películas fueron: Presión 7x10 -3 mbar, tiempo de 1 hora y potencia 400 W. Las películas se nitruraron a una diferencia de potencial de 500 V, a una presión de 3 torr. Los resultados de EDX revelan que la película esta compuesta en promedio de 78.3% Wt de Ti, 6. % Wt de Al, 12.0% Wt de V y 2.1% Wt de N. Por otra parte, los resultados de DRX muestran que la película crece a lo largo del plano (110) de la fase b (Ti estabilizado con V) de la aleación. Finalmente, las pruebas mecánicas realizadas sobre las películas nitruradas indican que la microdureza aumenta ligeramente.
