Reliability aspects of Hf-based capacitors: Breakdown and trapping effects.

• Autores: R. Duschl, M. Kerber, A. Avellan, S. Jackschik, U. Schroeder, S. Kudelka
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 497-500
• Idioma: inglés
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