Post deposition annealing studies of lanthanum aluminate and ceria high-k dielectrics on germanium.

• Autores: S.F. Galata, E.K. Evangelou, Y. Panayiatatos, A. Sotiropoulos, A. Dimoulas
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 532-535
• Idioma: inglés
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