Accelerated testing for time dependent dielectric breakdown (TDDB) evaluation of embedded DRAM capacitors using tantalum pentoxide.

• Autores: A. Inani, V. Koldyaev, S. Graves
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 9-11, 2007, págs. 1429-1433
• Idioma: inglés
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