Deformation analysis in microstructures and micro-devices.

• Autores: Z. Liu, H. Xie, D. Fang, C. Gu, Y. Meng, Whye-Teong Ang, Ya Fang, J. Miao
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 12, 2007, págs. 2226-2230
• Idioma: inglés
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