Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AIN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

• Autores: Manuel García Méndez, Santos Morales Rodríguez, Wencel de la Cruz Hernández, Luciano Eliézer Ramírez Vidaurri
• Localización: CIENCIA-UANL, ISSN-e 2007-1175, ISSN 1405-9177, Vol. 11, Nº. 3, 2008
• Idioma: español
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