Charging and discharging phenomena in electrostatically-driven single-crystal-silicon MEM resonators: DC bias dependence and influence on the series resonance frequency.

• Autores: S. Kalicinski, M. Wevers, I. De Wolf
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 8-9, 2008, págs. 1221-1226
• Idioma: inglés
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