Tensile tests of micro anchors anodically bonded between Pyrex glass and aluminum thin film coated on silicon wafer.

• Autores: Y.-Q. Hu, Y.-P. Zhao, T. Yu
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 10, 2008, págs. 1720-1723
• Idioma: inglés
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