Towards the use of the conformal-evaporated-film-by-rotation technique in fabricating microelectronic circuits and microsystems.

• Autores: R.J. Martín-Palma, C.G. Pantano, A. Lakhtakia
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 49, Nº. 4, 2009, págs. 460-462
• Idioma: inglés
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