Fabrication of micro-moiré gratings on a strain sensor structure for deformation analysis with micro-moiré technique.

• Autores: H. Xie, S. Kishimoto, Y. Li, Q. Liu, Y. Zhao
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 49, Nº. 7, 2009, págs. 727-733
• Idioma: inglés
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