Nanoscale machinability and subsurface damage machined by CMP of soft-brittle CdZnTe crystals.

• Autores: Z. Zhang, Y. Meng, D. Guo, R. Kang, H. Gao
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 47, Nº. 9-12, 2010, págs. 1105-1112
• Idioma: inglés
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