LSI Design Flow for Shot Reduction of Character Projection Electron Beam Direct Writing Using Combined Cell Stencil

• Autores: T. Kazama, Makoto Ikeda, Kunihiro Asada
• Localización: IEICE transactions on fundamentals of electronics, communications and computer, ISSN 0916-8508, Vol. 89, Nº 12, 2006, págs. 3546-3550
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)