Thermal Stability of ZrN Barrier in W/ZrN/Poly-Si Gate Electrode Configuration

• Autores: A. Noya, M. B. Takeyama
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 84, Nº 5, 2001, págs. 704-706
• Idioma: inglés
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