Study of LOCOS-Induced Anomalous Leakage Current in Thin Film SOI MOSFET's

• Autores: M. Oose, T. Iinuma, T. Shino, T. Yamada, M. Yoshimi, Shinya Watanabe, S. Kawanaka, S. Onga, T. Okada
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 82, Nº 7, 1999, págs. 1341-1346
• Idioma: inglés
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