Low Temperature Deposition of Indium Tin Oxide Thin Films by Low Voltage Sputtering in Various Rare Gases

• Autores: Y. Hoshi, H. M. Shimizu
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 87, Nº 2, 2004, pág. 212
• Idioma: inglés
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