Analysis of Resonant Frequency of Fast Scanning Micromirror with Vertical Combdrives

• Autores: O. Solgaard, H. Wada, D. Lee, S. Zappe
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 87, Nº 11, 2004, pág. 2006
• Idioma: inglés
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