Controlabilidad en E-Beam Testing: optimización de célula detectora
- Autores: Jordi Madrenas Boadas, Ramón BOSCH, Joan Cabestany Moncusí
- Localización: VII Congreso de Diseño de Circuitos Integrados: 3, 4 y 5 de noviembre de 1992, Toledo, España : actas, 1992, págs. 83-88
- Idioma: español
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Resumen
Se presenta el diseño y resultados experimentales de una célula optimizada que permite detectar un haz de electrones. Dicha célula permite la generación de estados lógicos internos mediante un haz de electrones sin necesidad de incluir pads de test adicionales en aplicaciones de E-Beam Testing.
El dispositivo detector seleccionado es un transistor bipolar parásito vertical en tecnología CMOS. Dicha célula mejora la respuesta temporal en varios órdenes de magnitud la de otras reportadas hasta el momento.
Mediante el uso de la célula se pueden conseguir mejoras de controlabilidad en test E-Beam, generación de vectores de test a bajas frecuencias, reconfiguración en WSI y reducción del error de direccionamiento del haz primario. Este efecto de segundo orden no deseado cobra importancia en E-Beam Testing con la progresiva reducción de las distancias en las reglas de diseño.
