Quantitative SIMS depth profiling of diffusion barrier gate-oxynitride structures in TFT-LCDs

• Autores: P. Wilhartitz, S. Dreer
• Localización: Analytical and bioanalytical chemistry, ISSN 1618-2642, Vol. 379, Nº 4, 2004, págs. 599-604
• Idioma: alemán
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