Monte Carlo simulations of gas flow and heat transfer in vacuum packaged MEMS devices

• Autores: Ru Huang, Moran Wang, Xing Zhang, Hongwei Liu, Jinku Wang, Guoyan Zhang, Huailin Liao
• Localización: Applied thermal engineering, ISSN 1359-4311, Vol. 27, Nº 2, 2007, págs. 323-329
• Idioma: inglés
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