Measuring the through-plane elastic modulus of thin polymer films in situ.

• Autores: M. van Soestbergen, L.J. Ernst, K.M.B. Jansen, W.D. van Driel
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 12, 2007, págs. 1983-1988
• Idioma: inglés
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