Temperature stability of a piezoresistive MEMS resonator including self-heating.

• Autores: S. Bendida, J.J. Koning, J.J.M. Bontemps, J.T.M. Van Beek, D. Wu, M.A.J. van Gils, Sudipta Nath
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 8-9, 2008, págs. 1227-1231
• Idioma: inglés
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