Packaging influences on the reliability of MEMS resonators.

• Autores: J.J.M. Zaal, W.D. van Driel, S. Bendida, Q. Li, J.T.M. Van Beek, G.Q. Zhang
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 8-9, 2008, págs. 1567-1571
• Idioma: inglés
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