Periodo de publicación recogido
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Mechanism of O2-anneal induced Vfb shifts of Ru gated stacks.
Z. Li, T. Schram, L. Pantisano, A. Stesmans, T. Conard, S. Shamuilia, V.V. Afanasiev, A. Akheyar, S. Van Elshocht, D.P. Brunco, W. Deweerd, Y. Naoki, P. Lehnen, S. De Gendt, K. De Meyer
Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 518-520
A. Rothschild, R. Mitsuhashi, C. Kerner, X. Shi, J.L. Everaert, L. Date, T. Conard, O. Richard, C. Vrancken, R. Verbeeck, A. Veloso, A. Lauwers, M. De Potter, I. Debusschere, M. Jurczak, M. Niwa, P. Absil, S. Biesemans
Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 521-524
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