Periodo de publicación recogido
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Band diagram for low-k/Cu interconnects: The starting point for understanding back-end-of-line (BEOL) electrical reliability
Michael J. Mutch, Thomas Pomorski, Brad C. Bittel, Corey J. Cochrane, P.M. Lenahan, Xin Liu, Robert J. Nemanich, Justin Brockman, Marc French, Markus Kuhn, Benjamin French, S.W. King
Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Nº. 63, 2016, págs. 201-213
Intrinsic stress fracture energy measurements for PECVD thin films in the SiOxCyNz:H system.
S.W. King, J.A. Gradner
Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 49, Nº. 7, 2009, págs. 721-726
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